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可變形反射鏡

ALPAO模式控制變形鏡(DMM)Alpao高速連續反射面變形鏡Alpao高速閉環自適應光學系統連續鏡面 可變形鏡自適應光學系統(基于MEMS變形鏡)超高速低噪聲EMCCD相機(自適應探測器)超高速超低噪聲近紅外相機(自適應探測器)分段式可變形鏡適用于高功率激光加工的變形鏡高性價比 自適應光學系統超大口徑 可變形鏡 (適用于兆焦級強激光)多驅動透射式自適應鏡頭 顯示全部
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連續鏡面 可變形鏡

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高品質、大沖程、低磁滯、MEMS波前校正變形鏡!

所屬類別:空間光調制產品 ? 可變形反射鏡

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連續鏡面 可變形鏡

高品質、大沖程、低磁滯、MEMS波前校正變形鏡!

 

關鍵詞:變形鏡,DM,Deformable Mirror,MEMS,變形反射鏡,波前像差,自適應,自適應光學,自適應光學系統,天文,天文臺,MEMS技術,波前,波士頓,Imagin,微變形反射鏡

 

變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用于各種自適應光學系統之中,主要用于校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個驅動單元都有自己獨立的控制器,在外加電壓控制下,變形鏡的鏡面可以產生需要的形變量,從而對波前像差進行調制。變形鏡在自適應光學系統中起著極其重要的作用,是自適應光學系統中的重要部件之一。DM的指標參數關系到整個自適應光學系統的校正能力和校正精度。微變形反射鏡式可以根據波前調制的需要改變表面面形,從而糾正波前相位畸變,根據反射面的不同變形鏡可分為連續表面型和分立表面兩種類型。

我們是從法國Joseph Fourier 大學獨立出來的,主要研發電磁場驅動的MEMS變形鏡(Deformable Mirror),具備非常高的研發實力,可以根據客戶的不同應用需求定制個性化的變形鏡。目前變形鏡的主要應用領域涵蓋了:天文領域、眼底成像、顯微成像、自由空間光通信自適應光學、激光波前校正、天文望遠鏡、天文觀測,天文自適應,大氣湍流校正,激光自適應,虹膜定位、波前像差校正,眼科成像、顯微成像自適應、球差校正、自由空間光通信等。

目前我們可以生產高達820個驅動數目的變形鏡DM波前調制量可達80 μm,表面質量<7 nm RMS,采用目前先進的拋光工藝,表面粗糙度<1 nm,變形鏡的響應時間只有500 us,帶寬可以達到20 KHzMEMS變形鏡可以幫助用戶實現快速和精準的波前校正。

MEMS變形鏡結構緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調制量大低磁滯性< 1%,高線性度> 97%。相比于MEMS 靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較于壓電變形鏡的優點在于其巨大的變形量,更高的調制精度。

 

MEMS變形鏡主要特點技術優勢

? 80 um 波前調制量

? 5 um 相鄰驅動調制量(可用于修正低級次大像差波前)

? < 7 nm RMS 表面質量

? MEMS 電磁驅動

? ± 1% 高穩定性

? 400 us 高響應速度

? < 3%  高線性度

? < 2% 低磁滯性

? R> 97% 高質量鍍膜


圖一 相鄰驅動調制圖


圖二 變形鏡高表面質量


圖三 電磁驅動模型


圖四 高階澤尼克多項式修正


圖5 高調制穩定性(±1% over 30s)


圖6 高質量鍍膜


MEMS變形鏡產品型號及參數


MEMS變形鏡控制器

MEMS可變形鏡配套低壓14-bit控制器



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