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無掩模光刻系統

DMD無掩膜光刻機[僅需60萬]桌面型納米壓印機 顯示全部
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DMD無掩膜光刻機[僅需60萬]

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高速、低價格DMD式無掩膜光刻機!僅需60萬

所屬類別:其他專業應用 ? 無掩模光刻系統

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DMD無掩膜光刻機 [僅需60萬]

高速、廣范圍、低價格DMD式無掩膜光刻機!



 
AU-PALET光刻機是一款緊湊的DMD式無掩膜光刻機擁有高速、廣范圍、低價格、高分辨率、操作簡單和可靠性高等特點。

DMD式無掩膜光刻機無需制造掩膜,采用DMD數字掩膜,可在抗蝕劑內曝光所希望的任意圖案。無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數據,除此之外DMD式無掩膜光刻機還可以讀取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式無掩膜光刻機使用365nmLED光源,降低價格的同時實現了穩定的曝光。采用10倍物鏡,一次曝光面積可達1mm′0.6mm,曝光時間僅需1s。結合電動移動平臺,可實現曝光拼接,分辨率可達到3μm。可通過公司編寫的軟件完成詳細設定,使操作簡潔方便。

與傳統的光刻機不同,AU-PALET光刻機采用DMD數字掩膜光刻技術,無需制造掩膜。大大降低了時間和成本。無掩膜光刻機可以讀取任何創建的CAD文件,直接進行光刻。除了CAD文件,還可以讀取豐富的其它格式的數據,例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。


AU-PALET DMD式無掩膜光刻機采用短波段的LED燈為光源,相對于其它的光源,擁有更高的穩定性和更長的壽命,降低價格的同時實現了穩定的曝光。AU-PALET 無掩膜光刻機為面曝光,采用10倍的物鏡,一次曝光面積可達到1mm′0.6mm,結合電動平移臺可實現曝光拼接,可達到更大的曝光面積。可通過公司編寫的軟件完成簡單操作和詳細設定,操作簡潔方便。
上海昊量光電推出的DMD無掩膜光刻機光源采用波長為365nm的LED燈作為光源,相比于激光或者汞燈,LED光源具有更長的使用壽命穩定性。LED光源的使用壽命可達到10000小時。采用10′的物鏡曝光面積達到1mm′0.6mm,光刻分辨率達到3mm,并在1s 內完成曝光。若配備電動平移臺,可完成套刻和光刻拼接,拼接面積可達25mm * 25mm, 并且電動平移臺擁有,自動聚焦和對準功能,使拼接誤差優于0.5μm。


  • 主要特點
    高速度(1s)
    廣范圍(1′0.6mm)
    365nm LED光源
    高分辨率 (3μm)
    成本低


  • 主要應用
    磁性薄膜等的任意形狀的圖案的形成
    傳感器,半導體器件的制作
    MEMS器件的試制、
    光電子,LED的試制
    微流體器件的試制
    掩膜版制作
    細胞分離通道等的制作
    光波導路的制作


  • 主要參數 

型號

AU-PALET_new

光源

365nm LED

光刻分辨率(使用10倍物鏡)

3 mm

曝光面積(使用10倍物鏡)

1mm0.6mm

平臺

手動XYZq平臺

構成

裝置本身,電腦, 軟件

外形尺寸

300(W) x 450(D) x430(H)

選項

2x鏡頭,電動平臺等






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